Le triméthylsilane est un composé organosilicié de formule chimique (CH3)3SiH. Il est couramment utilisé comme réactif de silanisation et comme source de silicium en synthèse organique.
Le triméthylsilane est un liquide incolore, inflammable et volatile. Il est principalement utilisé comme gaz de calibration dans les analyses par chromatographie en phase gazeuse (CPG) et comme solvant dans la spectroscopie RMN (résonance magnétique nucléaire) pour aider à obtenir des signaux plus nets en supprimant les impuretés dans les échantillons.
En outre, le triméthylsilane est également utilisé dans l'industrie électronique pour la gravure assistée au plasma, la lithographie et le dépôt de couches minces. Il peut également être utilisé comme matériau d'origine pour la croissance de films de silicium amorphe hydrogéné (a-Si:H) pour les cellules solaires.
Dans l'ensemble, le triméthylsilane est un composé polyvalent et important dans l'industrie chimique et électronique.
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